大师法名实贤，字思齐，号省庵，常熟人，俗姓时，家族世代为书香门第。
大师天生不食荤腥，7岁出家，拜清凉庵容选和尚为师，15岁正式剃发。大师聪慧爽朗，经典过目不忘，诗文书法无一不精。
大师虽精通世典，却从未于顷刻之间忘记生死大事。大师生性笃孝。母亲去世后，他跪在佛前诵《大方便佛报恩经》，整整七七四十九天。此后，逢年过节及夏伏冬腊祭祀时节，都要设像供养。有一天，大师到普仁寺，正巧看到一位僧人倒地猝死。这使大师顿悟世间无常，益加鞭策自己。
24岁时，大师在昭庆寺受具足戒，从此严习戒律，不离衣钵，日中一食，胁不沾席，并习以为常。农历庚寅年，大师往依渠成法师，听讲《法华玄义》；拜谒绍昙法师，听讲《唯识》、《楞严》、《止观》各部经论。从此昼夜研习，探求真谛。不到三年，大乘佛学三观十乘之旨，性相之学，全部融会贯通。绍昙法师即为大师授记别，为灵峰四世，天台正宗。
农历申午年，大师叩拜灵鹫和尚于崇福寺，参话头「念佛是谁」四个多月，忽然开悟，说「我的梦醒了」。自此以后，机锋迅利，思维敏捷，辩才无碍。灵鹫和尚欲以衣拂相授，传住持之位，大师不受而辞。从此掩关于真寂寺，白天读《大藏经》，夜晚持佛名号。三年期满，众人请大师开讲《法华经》。大师升座开演，口若悬河，词如泉涌，滔滔不绝。
农历戊戌年开春，大师住于杭州隆兴寺。绍昙法师命大师代讲经律。法师亲自听讲，不住地击节赞叹，口称「善哉」。
农历已亥年春，大师到四明阿育王山，瞻仰礼拜舍利。先后五次燃香供佛，跪在佛前发四十八大愿，感应佛舍利放光。大师因而作诗如下：
迦文灭度二千年，舍利于今尚灿然。
自庆宿生何善利，得瞻光明塔门前。
一颗如珠缀小钟，青黄赤白现何穷。
自心还见自心相，不是如来色不同。
殿含宝塔塔含空，尘尘刹刹本自融。
八万非多一非少，毫端应现宝王宫。
医王虽去药还留，惭愧痴儿病未瘳。
读罢涅槃遗教品，伤心不觉泪长流。
从此以后，每年佛涅槃日，大师都要集合出家在家大众，广修供养。讲演《弥陀》、《遗教》二经，开示是心是佛的真谛，三根普被，法化洋溢。江浙一带，出家在家四众，无不倾心归仰。大师又手著《劝发菩提心文》，激励四众弟子，言语恳切，许多读诵的人都潸然泪下。如此经历十年，法筵之兴盛，天下第一。《劝发菩提心文》收入《净土十要》第九要附，且有单本流通，行人自己请读，恕不抄录。
大师曾应邀到永福、普庆、海云等禅寺讲经。每到一院，必模范一方，清规肃穆，气像一新。每讲解《法华》、《楞严》等诸大经典时，手执经卷，请问教义的人，不约而同，云集于大师座下。
大师晚年退隐于杭州仙林寺，足不出户，力修净业。已酉年冬，杭州人茅静远、叶升、皇甫子仪、李执玉等居士，监院师自躬、一苇等，力请大师到凤山梵天寺讲经。大师于是屏绝诸缘，纯提净土，昼夜六时，带领大众行道念佛，人们都说大师是永明延寿大师再来。
大师先后主持丛林十余年，在大师座下得度的弟子，及归依受戒的居士，达数百人。遇到学习诗文的佛门四众弟子，大师就痛下戒劝：「人命在呼吸之间，哪有闲工夫学世俗文字。稍有错过，便成来世。那时再想出离，比登天还难呢。」
大师在雍正七年曾与众人结莲社，并亲自起草誓词，以生命结束为期，将每日功课分为20分，以10分持名念佛，9分观想念佛，1分礼忏念佛。其中开示禅宗学人念佛偈为：
「一句弥陀，头则公案。无别商量，直下便判。如大火聚，触之则烧。如太阿剑，撄之则烂。
八万四千法藏，六字全收。千七百只葛藤，一刀齐断。任他佛不喜闻，我自心心忆念。请君不必多言，只要一心不乱。」
雍正十一年腊月初八佛成道日，大师告诉弟子说：「明年四月，我就长往西方了。」从此，大师掩关于寸香斋，每日持念阿弥陀佛名号10万声。直至第二年甲寅岁四月二日出关。十二日，大师对大家说：「我十日前见到西方三圣降临虚空，今天又见到，莫不是我该往生了。」随后，嘱咐院中事务，并遍辞城中护法居士。侍者请大师留下偈言，大师写到：
身在华中佛现前，佛光来照紫金莲。
心随诸佛往生去，无去来中事宛然。
写竟，大师说，「我十四日决定往生，你们为我集众念佛。」十三日，大师断除饮食，闭目危坐到五更，沐浴更衣面西趺坐。十四日将近午时，大师面向西方，寂然而逝。
等到为大师送行的人群赶到后，大师忽然又睁开双眼，对大家说：「我去去就来。生死事大，大家各自净心念佛。」说完，大师合掌连称阿弥陀佛，就往生了。鼻中玉箸垂下，颜色明润，至封龛时面色不变。
虞山寺上首无住师，于这年腊月初八，奉迎大师灵骨，葬于常熟琴川拂水西。乾隆七年二月十五日，阿育王寺诸位四众弟子，怀念大师道行，迎请大师灵骨，重建塔于阿育王寺之西，旧塔遂成为大师的衣钵冢。
大师生于康熙廿五年八月初八日，示寂于雍正十二年四月十四日，世寿49岁，僧腊25年。
大师身后，留有《省庵法师语录》一册，是际清居士彭二林的重订本。已刊板流行于世，读者所得教益，微妙难以尽述。
